Charakterisierung mikrostrukturierter Bauteiloberflächen

Im Rahmen des Teilprojekts werden Geräte und Methoden zur Charakterisierung mikrostrukturierter Bauteiloberflächen erforscht. Die in der 1. und 2. Förderperiode etablierten Messgeräte werden ergänzt um einen offenen optischen Kohärenztomographen, der neben der Oberflächenerfassung auch das Messen von Schichtdicken ermöglicht, und an dem Grundlagenuntersuchungen durchgeführt werden. Im Bereich der Me-thoden werden neben anderen Ansätzen neuartige Algorithmen zur Auswertung von Bildstapeln des Weißlichtinterferometers und des optischen Kohärenztomographen erforscht.